Ozon i høye konsentrasjoner kan over tid ha en negativ påvirkning på visse materialer, spesielt gummi og plast. Det betyr at elektriske apparater som inneholder slike komponenter kan teoretisk sett ta skade hvis de utsettes for mange eller svært kraftige behandlinger. Kortvarige og profesjonelt utførte behandlinger vil imidlertid sjelden skade elektronikk. Mange bruker ozonbehandling i biler og boliger uten problemer, men det kan være lurt å unngå unødig langvarig eksponering av følsomt utstyr. Noen velger å dekke til eller flytte spesielt sårbare apparater for å være på den sikre siden.
